
Газообразные соединения или элементарные вещества, содержащие монооксид кремния, подаются на нагретую подложку, где на поверхности происходят химические реакции, в результате которых осаждается тонкая пленка монооксида кремния (SiO₂).
Газообразные соединения или элементарные вещества, содержащие монооксид кремния, подаются на нагретую подложку, где на поверхности происходят химические реакции, в результате которых осаждается тонкая пленка монооксида кремния (SiO₂).
1.Максимальная температура 1800°C, обеспечивает непрерывное осаждение монооксида кремния и стабильность производства высокого качества.
2.Оборудование отличается стабильностью работы, может стабильно функционировать в вакууме или в среде защитной атмосферы.
3.Футеровка печи полностью выполнена из легковесных огнеупорных материалов с использованием технологии вакуумной заливки, обеспечивающей высокую тепловую эффективность оборудования.
4.Высокая точность контроля температуры: используется ПИД-регулирование, функция измерения температуры в нескольких точках, измерение температуры термопарами, высокая точность поддержания разности температур.
| Тип конструкции печи | Горизонтальная |
| Размеры зоны постоянной температуры | Φ500 мм x 600 мм, Φ600 мм x 800 мм, Φ700 мм x 1000 мм, Φ800 мм x 1600 мм (возможно изготовление по индивидуальным требованиям заказчика) |
| Печной корпус | Состоит из внутренней и внешней двухслойной конструкции с водяным охлаждением; части, контактирующие с охлаждающей водой, выполнены из нержавеющей стали 304 для эффективного предотвращения утечек газа при длительной эксплуатации |
| Система возгонки | Состоит из зоны нагрева и зоны сбора. Зона нагрева включает индукционную катушку, высокоплотный корунд, графитовый войлок, изостатический графит. Зона сбора состоит из нержавеющей стали 310S и теплоизоляционного слоя |
| Система терморегулирования | Централизованное управление с помощью сенсорного экрана ПЛК, автоматизированное управление, оснащено сетевым портом для возможности дистанционного управления |
| Система нагрева | Используется индукционный нагрев, источник питания – энергосберегающий IGBT, отличающийся низким уровнем шума и позволяющий экономить около 15% электроэнергии по сравнению с традиционными тиристорными источниками |
| Вакуумная система | Состоит из многоступенчатого вакуумного насоса, вакуумного клапана, регулятора давления и трубопроводов |
| Система охлаждения | Оснащена закрытой системой охлаждения. Внутренний контур использует деионизированную воду, что предотвращает образование накипи в трубопроводах оборудования. Внешний контур использует водопроводную воду с автоматическим пополнением и автоматическим запуском вентилятора для отвода тепла. Отличается высокой эффективностью теплоотвода, экологичностью, компактностью и малым занимаемым пространством |