
Предназначена для крупносерийного производства материалов, поддающихся осаждению из газовой фазы, таких как монооксид кремния. Отличается высокой точностью контроля разности температур, способностью поддерживать высокую температуру и глубокий вакуум.
Предназначена для крупносерийного производства материалов, поддающихся осаждению из газовой фазы, таких как монооксид кремния. Отличается высокой точностью контроля разности температур, способностью поддерживать высокую температуру и глубокий вакуум. Обладает специальными технологическими возможностями, включая возгонку в высоком вакууме, проведение реакций, удаление связки, дегидратацию, автоматическое истирание и соскоб материалов, осажденных из газовой фазы, а также сбор материалов внутри печи.
Большой объем единовременной загрузки, высокая эффективность производства.
Полностью автоматизированная работа в полностью замкнутом цикле, исключающая пылеобразование и обеспечивающая чистоту и порядок на производственной площадке.
Контроль температуры в пределах до 1500°C, высокая скорость нагрева.
Возможность стабильной работы в условиях вакуума.
| Модель | JT-SHL-118 | JT-SHL-226 | JT-SHL-385 | JT-SHL-804 |
| Размеры рабочей зоны (мм) | Φ500 x 600 | Φ600 x 800 | Φ700 x 1000 | Φ800 x 1600 |
| Конструкция | Горизонтальная | |||
| Максимальная температура | 1500°C | |||
| Печной корпус | Состоит из внутренней и внешней двухслойной конструкции с водяным охлаждением; части, контактирующие с охлаждающей водой, выполнены из нержавеющей стали 304 для эффективного предотвращения утечек газа при длительной эксплуатации. | |||
| Система возгонки | Состоит из зоны нагрева и зоны сбора. Зона нагрева включает индукционную катушку, высокоплотный корунд, графитовый войлок, изостатический графит. Зона сбора состоит из нержавеющей стали 310S и теплоизоляционного слоя. | |||
| Система терморегулирования | Централизованное управление с помощью сенсорного экрана ПЛК, автоматизированное управление, оснащено сетевым портом для возможности дистанционного управления. | |||
| Система нагрева | Используется индукционный нагрев, источник питания – энергосберегающий IGBT, отличающийся низким уровнем шума и позволяющий экономить около 15% электроэнергии по сравнению с традиционными тиристорными источниками. | |||
| Вакуумная система | Состоит из многоступенчатого вакуумного насоса, вакуумного клапана, регулятора давления и трубопроводов. | |||
| Система охлаждения | Оснащена закрытой системой охлаждения. Внутренний контур использует деионизированную воду, что предотвращает образование накипи в трубопроводах оборудования и минимизирует потери воды во внутреннем контуре. Внешний контур использует водопроводную воду с автоматическим пополнением и автоматическим запуском вентилятора для отвода тепла. Отличается высокой эффективностью теплоотвода, экологичностью, компактностью и малым занимаемым пространством. | |||