
Печь химического осаждения из газовой фазы предназначена для CVD/CVI обработки поверхности или матрицы материалов с использованием углеводородных газов (например, C3H8, CH4 и других) в качестве источника углерода. Применяется для нанесения поверхностных покрытий, модификации матрицы, изготовления композиционных материалов и других целей.
Печь химического осаждения из газовой фазы предназначена для CVD/CVI обработки поверхности или матрицы материалов с использованием углеводородных газов (например, C3H8, CH4 и других) в качестве источника углерода. Применяется для нанесения поверхностных покрытий, модификации матрицы, изготовления композиционных материалов и других целей.
1.Применяется электрический метод нагрева, характеризующийся равномерностью нагрева, простотой эксплуатации, легкостью контроля и обслуживания.
2.Камера печи изготовлена из прочных специальных материалов, устойчивых к высоким температурам, способных выдерживать вес высокотемпературных нагревательных элементов и тяжелых узлов, а также обладает отличными герметизирующими свойствами, эффективно предотвращая загрязнение отложений, растущих на подложке.
3.Используется интеллектуальное регулирование давления, обеспечивающее малые колебания давления.
4.Применяется полностью закрытая конструкция, обладающая хорошей термической стабильностью, высокими герметизирующими свойствами и высокой устойчивостью к загрязнениям.
5.Многоканальная технологическая газовая магистраль обеспечивает равномерное течение, отсутствие застойных зон для осаждения и высокую эффективность осаждения.
6.Многоступенчатая высокоэффективная система очистки отходящих газов, экологически безопасная, позволяет эффективно собирать смолу и побочные продукты, легко очищается.
7.Применяется система охлаждения с водяным охлаждением кожуха печи, возможна комплектация внешней системой ускоренного охлаждения с замкнутым циклом, что сокращает время охлаждения и повышает эффективность производства.
| Модель | JT-CJL-04 | JT-CJL-14 | JT-CJL-31 | JT-CJL-74 | JT-CJL-127 | JT-CJL-211 | JT-CJL-326 | JT-CJL-588 |
| Размеры рабочей зоны φ×В (мм) | 100×500 | 150×800 | 200×1000 | 250×1500 | 300×1800 | 350×2200 | 400×2600 | 500×3000 |
| Максимальная температура (°C) | 2200/2800 | 2200/2800 | 2200/2800 | 2200/2800 | 2200/2800 | 2200/2800 | 2200/2800 | 2200/2800 |
| Равномерность температуры (°C) | ±3/±5 | ±3/±5 | ±5/±7,5 | ±7,5/±10 | ±7,5/±10 | ±10/±15 | ±10/±15 | ±15/±20 |
| Предельный вакуум (Па) | ≤30 | ≤30 | ≤50 | ≤50 | ≤100 | ≤100 | ≤100 | ≤100 |
| Скорость натекания (Па/ч) | 1 | 1 | 2 | 2 | 2 | 5 | 5 | 5 |
| Способ нагрева | Графитовый резистивный / Индукционный нагрев | |||||||